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相融共進,助力半導體產業自主發展新突破
作者:sljt時間:2019-10-29

  10月27日,第二屆中國·如皋第三代半導體及智能制造國際研討會在如皋隆重舉行。本次研討會以“廣納高端人才智力,助推實體經濟發展”為主題,圍繞第三代半導體及智能制造方面開展了學術研討和技術交流。在簽約儀式上,江蘇雙良新能源裝備有限公司(簡稱“雙良新能源”)與江蘇卓遠半導體有限公司(簡稱“卓遠半導體”)達成了戰略合作。

  近年來,如皋把第三代半導體產業作為優先發展的戰略性新興產業,建設的第三代半導體及激光設備制造產業集群已初具規模。本次大會吸引了來自俄羅斯、烏克蘭、白俄羅斯、德國等國際知名學者參加,同時集聚了上海復旦大學、哈爾濱工業大學、西安交大、臺灣工研院等知名高校、科研院所的行業領軍人物,以及來自業界上百家半導體行業企業。

  會上,中烏第三代半導體產業技術研究院正式成立。該研究院由烏克蘭國家科學院(單晶研究院)、如皋高新區、卓遠半導體發起成立,今后將開展第三代半導體晶體制造智能裝備、大功率用晶圓、功率芯片及器件、光電材料、激光晶體材料及其他功能性晶體材料和設備等關鍵技術研究。

雙良低碳產業技術研究院院長吳剛與卓遠半導體董事長張新峰在現場簽署戰略合作協議

  簽約儀式上,雙良新能源與卓遠半導體達成了戰略合作。兩家公司的強強聯合,旨在以國家大力發展半導體產業、地方產業創新升級為契機,通過戰略合作實現雙方優勢互補,填補國內大尺寸單晶硅生產設備領域空白,并推動第三代半導體碳化硅(SiC)晶體量產化,實現國內半導體產業在高端裝備制造領域自主化取得新突破。

合作項目

  • 集成電路級大尺寸高性能單晶硅的生長智能裝備技術的開發合作

  • 第三代半導體碳化硅晶體批量生產項目的量產化技術合作

  卓遠半導體是致力于全自動晶體生長裝備研發、生產、銷售以及晶體材料精加工的高新科技企業,目前正著力發展“第三代半導體”碳化硅(SiC)晶體的裝備制造和晶圓生產業務,公司在半導體晶體領域擁有豐富的學術理論和實操經驗。

  多年來,依托強大的國家級企業技術中心和博士后科研工作站,雙良新能源持續專注于多晶硅還原系統成套工藝裝置的研發和制造,推動多晶硅行業核心設備還原爐打破國外壟斷格局,綜合技術水平業內領先。雙良還原爐目前已形成了從12對棒到72對棒產品系列化,其中按照電子級多晶硅要求設計制造的24對棒還原爐也已取得了成功應用,在性價比方面相較進口設備更具競爭優勢。

  在全球產能逾萬噸級的18家企業中,有10家來自中國,雙良設備為這10家多晶硅行業骨干企業提供持續、穩定、健康的服務。迄今為止,雙良新能源已累計為全國多晶硅企業提供了五千多套生產設備,包括精餾塔、雙管板換熱器和大型吸附設備等,推動著國內多晶硅生產企業的工藝變革和產品質量提升。

  此次合作,依托雙良節能整體的質量體系管控實力和相關產業設施配套資源、雙良新能源多晶硅裝備制造核心技術和自動化控制系統開發能力,以及雙良節能旗下的雙良低碳產業技術研究院的團隊支持,卓遠半導體能在晶體爐設備研發方面獲得最優最快的機械加工制造條件和行業生產經驗。雙良將借助卓遠半導體在晶體材料及全自動智能設備制造方面的專業經驗和優勢資源,快速進入半導體單晶爐及第三代半導體碳化硅高端裝備制造領域,進一步實現由傳統制造向高科技智能制造的轉型升級。

  當前,新一輪科技革命和產業變革正在重構全球創新版圖,全球科技創業浪潮從互聯網、移動互聯網進入到“硬科技”階段。第三代半導體、激光器件等大量新興技術突破原有產業邊界,向各行業跨界滲透、融合發展,催生出大量新技術、新業態和新增長點,帶動制造業呈現出數字化、智能化的發展趨勢。

  單晶硅是典型的第一代半導體材料,以高純度(99.9999999%至99.9999999999%)的多晶硅為原料,通過單晶爐拉制而成。這種良好的半導體材料被廣泛用于制造超大規模集成電路、半導體芯片、記憶體芯片和中低頻、中低功率器件等,是現代信息社會不可或缺的基礎物質。由于單晶硅在諸多領域有著不可替代的地位,歐美日等發達國家紛紛將其提升至國家戰略層面,爭搶技術制高點。伴隨半導體信息產業的迅猛發展,單晶硅材料與單晶爐的市場需求都十分旺盛。

  據Yole Development(法國知名市場調研和戰略咨詢公司)預計,未來五年,IC硅(電子級硅)市場將持續供不應求,豐厚的市場回報將進一步支撐技術開發,持續拉大技術差距。我國目前已較為全面地布局了IC 硅全產業鏈,并在磊晶階段日趨成熟,但在晶圓和設備制造環節仍在努力實現突破。目前,世界市場上90%的電子級大尺寸單晶片供應都由世界前五家頭部企業壟斷。國內用于制造大規模集成電路的 8-12 英寸單晶硅,絕大部分來自進口。而用于制造極大規模集成電路的大直徑(12英寸以上)高性能單晶硅,其生長工藝、設備技術等更被國外企業壟斷。中國企業要想不被“卡脖子”,單晶硅及其生產裝備完全自主化是必由之路。

  在傳統制造業面臨新一輪科技革命和產業變革的當下,雙良牢記初心使命,向著高端產品智能制造、服務型制造的高質量發展目標,接續奮斗前行。站在新的高技術領域,雙良將與卓遠半導體攜手共進,為中國半導體產業發展注入新活力,做出新貢獻。

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